Пропустить команды ленты
Пропустить до основного контента
SharePoint

 Добро пожаловать на сайт группы сканирующей электронной микроскопии!

В распоряжении имеется два сканирующих электронных микроскопов (СЭМ) разных поколений- TESCAN MIRA 3 и JEOL JSM-6700F. Характеристики и возможности этих приборов приведены ниже. 
Для оптимизации работы на СЭМ рекомендуется провести предварительные консультации заказчика для мотивированного выбора СЭМ, варианта пробоподготовки и режимов съёмки.  Перед размещением заказа на работы на СЭМ, ознакомьтесь с основными правилами организации исследований, это пункты меню на левой панели:
  • Работа на микроскопе
  • Резервирования смены.

 Параметры приборов

TESCAN MIRA 3_v7_Ready 998x651.png
jsm6500f 1.jpg


 TESCAN MIRA 3


Cканирующий электронный микроскоп (СЭМ) четвертого поколения с катодом Шоттки, позволяющий получать СЭМ-изображения и проводить анализ элементного состава в реальном времени в одном окне программного обеспечения TESCAN Essence™, что значительно упрощает получение данных как о морфологии поверхности образца, так и о его локальном элементом составе и делает СЭМ TESCAN MIRA эффективным аналитическим решением для проведения регулярного контроля качества материалов и изделий, анализа отказов и различных лабораторных исследований. 
Модернизированная колонна электронного микроскопа TESCAN MIRA управляется усовершенствованной электроникой, которая обеспечивает мгновенный переход от режима получения изображений при больших увеличениях к режиму исследования элементного состава образцов без механической смены апертур или механической юстировки каких-либо элементов внутри колонны. Один клик позволяет переключаться между предустановками, сохраняющими все настройки параметров микроскопа. 

    Источник электронов: автоэмиссионный катод Шоттки
    Диапазон энергий электронного пучка, падающего на образец: от 200 эВ до 30 кэВ (от 50 эВ с опцией торможения пучка BDT *)
    Для изменения тока пучка в качестве устройства смены апертур используется электромагнитная линза
    Ток пучка: от 2 пА до 400 нА с непрерывной регулировкой
    Максимальное поле обзора: более 8 мм при WD = 10 мм, более 50 мм при максимальном WD
Режим высокого вакуума
Разрешение:
    1.2 нм при 30 кэВ, детектор SE
    3.5 нм при 1 кэВ, детектор In-Beam SE *
    1.8 нм при 1 кэВ, опция торможения пучка BDT *

    Внутренний диаметр: 230 мм
    Количество портов: 12+ (количество портов может быть изменено под задачи заказчика)
    Инфракрасная камера обзора
   Ручные или моторизованные внутрикамерные детекторы, требующие вдвижения/выдвижения




 JEOL JSM-6700F

Прибор для микроскопических исследований 
Высокое разрешение и высокое качество изображения позволяют проводить количественный морфологический анализ и измерение линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур благодаря электронной пушке с холодным катодом, сверхвысокому вакууму и усовершенствованным цифровым технологиям.

Источник первичных электронов – холодноэмиссионная полевая пушка. 
Разрешение: 
- 3.5 nm при 15 кВ;
- 0.22 нм при 1 кВ. 
Ускоряющее напряжение – 0.5-30 кВ. 
Максимальный размер образца 200х200 мм, устойчивое сверхвысокое разрешение по всей площади объекта. 
Рабочее расстояние –5-25 мм. 
Вакуум в:
- области источника 10-8 Па
- в камере 10-5 Па